3d轮廓测量仪

一、光学3d轮廓测量仪是什么

光学3d轮廓测量仪也叫白光干涉仪，是目前三维形貌测量领域高精度的3D三维测量仪器之一。在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。光学3d轮廓测量仪是以白光干涉测量技术为基础而研发生产的，采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。

在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域，除了光学3d轮廓测量仪，其它仪器达不到检测的精度要求。

光学3d轮廓测量仪的优点：

1、非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件。

2、测量速度快，不必像探头逐点进行测量。

3、不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置。

4、对高深宽比的沟槽结构，可以快速而精确的得到理想的测量结果。

二、光学3d轮廓测量仪的参数有哪些

1、Z向分辨率：0.1nm

2、横向分辨率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙度RMS重复性：0.1nm

4、表面形貌重复性：0.1nm

5、台阶测量：重复性：0.1%；准确度：0.75%

6、主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效。