路敦武

路敦武的个人简介

路敦武高级工程师。生于1940年，吉林延吉人。毕业于长春光学精密机械学院。现任职于中国科学院上海光学精密机械研究所。主要专利发明有：用吸附针尖组装微小构件的装置（专利号：ZL94329919．6）；线条倾斜测量误差自、动补偿方法（专...

基本内容

路敦武高级工程师。生于1940年，吉林延吉人。毕业于长春光学精密机械学院。现任职于中国科学院上海光学精密机械研究所。主要专利发明有：用吸附针尖组装微小构件的装置（专利号：ZL94329919．6）；线条倾斜测量误差自、动补偿方法（专利号：ZL94112044．9）等六项；鉴定科研成果十三项。其中：扫描投影光刻机，获上海市科学进步一等奖；I：IStepper亚微米光刻镜头，获上海市科学进步二等奖；扫描投影光刻机，获中国科学院科学技术二等奖。在国内发表学术论文六十余篇，另有《光学系统的研究与检验》译著一部。